商品・サービス紹介
商品・サービス紹介
装置
12インチ対応連続式常圧CVD装置 AMAX1200
高生産性連続式常圧CVD装置 AMAX800V
高性能枚葉式常圧CVD装置 A200V
小規模生産・開発用常圧CVD装置 D501
ガラス基板成膜装置
太陽電池量産用連続式常圧CVD装置 AMAX1000S
MOCVD装置; Doctor-T
高精細フォトマスク対応スピンタイプ洗浄装置 WULFシリーズ
ウェハ搬送移載装置
IPA蒸気乾燥装置
石英管洗浄装置「HTC / VTCシリーズ」
表面・内部欠陥目視検査装置 ED-Scope
吸引式ハンドドライヤー; CIRCULA（サーキュラ）
吸引式ハンドドライヤー; CRENA-FF
ELGA 純水製造装置 PURELAB Chorus2⁺(RO/DI/UV)10/20
ELGA 水道直結型 超純水製造装置 PURELAB Flex3
吸引式ハンドドライヤー; CRENA
