部品・材料
ガラス状カーボン
優れた特長の炭素材料
概要
ガラス状カーボンは炭素材料の一種です。
一般的な炭素材料の特性である、耐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。
これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。
用途・実績例
・プラズマエッチング、CVD装置用部材
・スパッタリングターゲット
・高純度耐薬品性部材
・分析装置用部材
・X線機器用部材
特長
・耐薬品性
・気体・液体の不透過性
・高純度
・無発塵
・高耐熱性
・X線高透過性
一般物性
| 項目 | 単位 | AC-140 (AC-140S) |
| かさ密度 | Mg/m3 | 1.55 |
| 気孔率 | % | 0 |
| 曲げ強さ | MPa | 200 |
| 曲げ弾性率 | GPa | 30 |
| 固有抵抗 | μΩ･m | 40 |
| 熱膨張係数 | 106K | 2～3.4 |
| 熱伝導率（20℃） | W/mK | 6.2 |
| ショア硬度 | HS | 130 |
| 灰分 | ppm | ＜50（＜5） |
耐薬品性 *室温（R.T）
| 薬品 | 耐性 |
| リン酸（98％）／H3PO4 | ◎ |
| 硝酸（61％）／HNO3 | ◎ |
| 硫酸（97％）／H2SO4 | ◎ |
| 塩酸（36％）／HCl | ◎ |
| 混酸／HNO3＋ CH3COOH＋HF | ◎ |
| 水酸化ナトリウム（50％）／NaOH | ◎ |
| アンモニア水（28％）／NH4OH | ◎ |
| パラトルエンスルホン酸水溶液（50％） | ◎ |
| フッ酸（50％）／HF | ◎ |
