部品・材料
多孔質ガラス状カーボン
真空チャック用途などに様々な可能性を秘めた素材
概要
多孔質ガラス状カーボンは100%ガラス状カーボンで構成する素材に、通気性を持たせた製品です。
腐食性ガスおよび液体に対する耐食性、耐熱性、導電性等を有しつつ、多孔質材料の特性である通気性、通液性を併せ持っております。
真空チャック用途などに様々な可能性を秘めた素材として期待されます。
用途・実績例
・真空チャック用部材
・各種フィルタ
・ガス拡散用部材
特長
・耐熱性・耐薬品性・耐腐食性に優れる
・導電性・熱伝導性を持つ
・通気性、通液性を有する
仕様
項目 | 【代表値(AP-100)】 |
かさ密度 | 1.0Mg/m3 |
気孔率 | 46% |